激光平面干涉儀 PG15-J型 是一種使用方便的光學(xué)精密計(jì)量儀器,主要用于精密測量光學(xué)平面度,儀器配有激光光源(波長為6328A)。對于干涉條紋可目視,測量讀數(shù),照相留存記錄。
PG15-J激光平面干涉儀
主要技術(shù)參數(shù):
1、第一標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),不鍍膜。 工作直徑:D1=Φ146mm,不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),不鍍膜。 工作直徑:D2=Φ140mm,不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、準(zhǔn)直系統(tǒng):孔徑F/2.8, 工作直徑:D1=Φ146mm,焦距:f=400mm
4、測微目鏡:焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場角2w=40o,成像物鏡:I、D=4.5;П、D=7;Ш、D=10,f=16,f=23,f=37
5、干涉室尺寸:深260*寬300*190mm。
6、光源規(guī)格:激光ZN18(He-Ne)。
7、儀器的外形尺寸:長*寬*高 350*400*720mm。
8、儀器重量:100公斤。