韓國原裝進口高精度氣體質(zhì)量流量計/氣體質(zhì)量流量控制器,使用特別的熱傳感器和控制電路提高計算精度。廣泛應用于半導體工業(yè)和其他行業(yè),產(chǎn)品設計堅固、耐用,且經(jīng)濟。
應用:
所有工業(yè)/氣體混合及分析/注氣、表面加工行業(yè)(PVC,CVD,反應器等)/半導體工業(yè)/部件泄露檢測/產(chǎn)品研究和開發(fā)/高壓行業(yè)/光纖/燃料電池/反應器系統(tǒng)/氣體的混合系統(tǒng)
優(yōu)勢:
l 測量質(zhì)量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統(tǒng)
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高壓(95公斤)
l 快速響應時間(<1秒)
l 高重復性(±0.25%F.S)
規(guī)格:
型號
M2500V/A
流量范圍(N2)
300~1000 slpm
響應時間
<2秒
精確度
±1%
重復精度
±0.25%
輸入輸出信號
0~5Vdc or 4~20mA
供電
+15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作壓力
60~240 psia
最大工作溫度
0~50℃
漏率
1×10-9atm.cc/sec
控制范圍
2~100%