三維測量顯微鏡廣泛應用于半導體,電子工業(yè)進行晶體,集成電路的檢驗和精確測量.配備有冷光源光纖反射照明,成象和觀察系統(tǒng),偏光裝置.

    規(guī)格  

1、光學成像系統(tǒng)  

（1）無限遠光學系統(tǒng),管鏡焦距200mm

（2）鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜,  瞳距55-75mm

（3）高眼點,大視場目鏡WF10X/22

（4）長工作距離,平場復消色差物鏡2X/0.055,  5X/0.14,  10X/0.28,  20X/0.29,  50X/0.42

（5）五孔物鏡轉(zhuǎn)換器

2、調(diào)焦系統(tǒng)   

  同軸粗微調(diào)焦機構,微動格值0.002mm

3、載物臺  

 6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm

4、三維測量系統(tǒng)  

（1）分辨率:  1μm

（2）測量精度:  ±(2+L/200)μm

（3）重復定位精度:  2μm

5、照明系統(tǒng)  

  冷光源光纖反射照明器:150W

6、完善和全面的測量軟件

（1）完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等)

（2）坐標系的設定,擺正,旋轉(zhuǎn)

（3）顯示方式多樣化;語言的轉(zhuǎn)換,公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換


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